Көбүнчө колдонулган жарым өткөргүч басым сенсору субстрат катары N-түрү кремний пластинасын колдонот. Биринчиден, кремний пластинкасы белгилүү бир геометрияга ээ болгон серпилгичтүү бөлүккө жасалат. Кремний пластинкасынын стрессти көтөрүүчү бөлүгүндө ар кандай кристалл багыттары боюнча төрт P-типтүү диффузиялык резистор жасалып, андан кийин бул төрт резистор менен төрт колдуу Уитстоун көпүрөсү түзүлөт. Тышкы күчтүн таасири астында каршылык чоңдуктарынын өзгөрүшү электрдик сигналга айланат. Бул басым эффектиси бар буудай таш көпүрөсү басым сенсорунун жүрөгү болуп саналат, ал адатта piezoresistive көпүрө деп аталат (1-сүрөттө көрсөтүлгөндөй). Пьезорезистивдүү көпүрөнүн мүнөздөмөлөрү төмөнкүдөй: ① көпүрөнүн төрт колунун каршылык чоңдуктары барабар (бардыгы r0); ② Көпүрөнүн чектеш колдорунун пьезорезистивдүү эффектиси мааниси боюнча бирдей жана белгиси боюнча карама-каршы; ③ Көпүрөнүн төрт колунун каршылык температурасынын коэффициенти бирдей жана алар дайыма бирдей температурада. fig. 1, R0 - бөлмө температурасында стресссиз каршылыктын мааниси; RT – температура өзгөргөндө каршылыктын температуралык коэффициенти (α) менен шартталган өзгөрүү; Υ Rδ – чыңалуудан келип чыккан каршылыктын өзгөрүшү (ε); Көпүрөнүн чыгыш чыңалуусу u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (туруктуу ток булагы көпүрө).

Мында I0 - туруктуу ток булагы, ал эми e - туруктуу чыңалуу булагы. Piezoresistive көпүрөнүн чыгыш чыңалуу штаммга (ε) түз пропорционалдуу жана каршылыктын температуралык коэффициентинен келип чыккан RT менен эч кандай байланышы жок, бул сенсордун температуралык дрейфин кыйла азайтат. Көбүнчө колдонулган жарым өткөргүч басым сенсору суюктуктун басымын аныктоочу сенсор болуп саналат. Анын негизги түзүлүшү монокристаллдуу кремнийден жасалган капсула (2-сүрөттө көрсөтүлгөндөй). Диафрагма чөйчөккө жасалып, чөйчөктүн түбү сырткы күчтү көтөрүүчү бөлүгү, ал эми чөйчөктүн түбүнө басым көпүрөсү жасалат. Шакек постамент ошол эле кремний монокристалл материалынан жасалып, андан кийин диафрагма пьедесталга байланат. Мындай басым сенсору жогорку сезгичтиктин, кичинекей көлөмдүн жана катуулуктун артыкчылыктарына ээ жана авиацияда, космостук навигацияда, автоматташтыруу аспаптарында жана медициналык аспаптарда кеңири колдонулат.