Piezoresistive сенсордун түзүлүшү

Бул сенсордо резистор тилкеси кремний пьезорезистивдүү чипти түзүү үчүн интеграциялоо процесси аркылуу монокристаллдуу кремний диафрагмасына бириктирилген жана бул чиптин перифериясы кабыкчага бекем пакеттелген жана электроддун өткөргүчтөрү сыртка чыгарылат. Piezoresistive басым сенсору, ошондой эле катуу абалдагы басым сенсору катары белгилүү, жабышчаак штамм өлчөгүчтөн айырмаланат, ал ийкемдүү сезгич элементтер аркылуу тышкы күчтү кыйыр түрдө сезиши керек, бирок кремний диафрагмасы аркылуу өлчөнгөн басымды түздөн-түз сезет.

Кремний диафрагмасынын бир тарабы өлчөнгөн басым менен байланышуучу жогорку басымдагы көңдөй, экинчи жагы атмосфера менен байланышуучу төмөнкү басымдагы көңдөй. Жалпысынан алганда, кремний диафрагма туруктуу перифериясы менен тегерек катары иштелип чыккан, жана калыңдыгы үчүн диаметри катышы болжол менен 20 ~ 60. Төрт P кирлик каршы тилкелери тегерек кремний диафрагма боюнча жергиликтүү чачырап жана толук көпүрө, алардын экөө туташтырылган. кысуу чыңалуу зонасында, ал эми калган экөө диафрагманын борборуна карата симметриялуу созулган чыңалуу зонасында болот.

Мындан тышкары, төрт бурчтуу кремний диафрагмасы жана кремний мамыча сенсору да бар. Кремний цилиндрдик сенсор да кремний цилиндринин кристаллдык тегиздигинин белгилүү бир багытында диффузия жолу менен резистивдүү тилкелерден жасалган жана эки чыңалууга туруштук берүүчү тилке жана эки кысуу стресске каршы тилке толук көпүрөнү түзөт.

Пьезорезистивдүү сенсор – жарым өткөргүч материалдын пьезорезистивдүү таасирине ылайык жарым өткөргүч материалдын субстратына диффузиялык каршылык менен жасалган түзүлүш. Анын субстраты түздөн-түз өлчөө сенсору катары колдонулушу мүмкүн, ал эми диффузиялык каршылык субстратта көпүрө түрүндө туташтырылган.

Субстрат тышкы күч менен деформацияланганда, каршылыктын маанилери өзгөрөт жана көпүрө тиешелүү салмаксыз өндүрүштү берет. Пьезорезистивдүү сенсорлор катары колдонулган субстраттар (же диафрагмалар) негизинен кремний пластиналары жана германий пластиналары. Сезимтал материалдар катары кремний пластинкаларынан жасалган кремний пьезорезистивдүү сенсорлор барган сайын көбүрөөк көңүл бурду, айрыкча басымды жана ылдамдыкты өлчөө үчүн катуу абалдагы пьезорезистивдүү сенсорлор эң кеңири колдонулат.