Пьезоресистивдүү сенсордун түзүлүшү

Бул сенсордо турмуш-тиричилик тилкеси монокристалдык тилкеси монокристалдык тилкеси монокристаллдык кремний диафрагмага интеграциялуу кремний пьезоресистивдүү чип жасоого, бул чебинин четине пакеттелген жана электроддорго алып барууга алып келет. Катуу мамлекеттик басым сэнсору пьезоресистикалык басым сэнсору, тышкы күчтү серпилдүү сезгич элементтер аркылуу кыйыр түрдө сезиши керек болгон жабышчаактык менен айырмаланат, бирок кремний диафрагма аркылуу өлчөнгөн кысымга алып келет.

Кремний диафрагмасынын бир жагы - чоң басым сөңгөгү, өлчөнгөн басым менен байланышкан көңдөй, ал эми экинчи тарап - бул атмосфера менен байланышкан көңдөй. Жалпысынан, кремний диафрагма, туруктуу перифериялык тегерек болуп иштелип чыккан жана диаметри калыңдыгы болжол менен 20 ~ 60. Диафрагм.

Мындан тышкары, кремний силикон диафрагмасы жана кремний тилкеси сенсор бар. Силикон цилиндрдик сенсор кремний цилиндринин кристалл тегиздигинин белгилүү бир багыттарынын белгилүү бир багытындагы кристалл тегиздиктеринен жана эки басма стресс стресске туруучу тилкелер жана эки кысуучу стресстүү тилкелер толук көпүрө түзүлөт.

Пьезоресистивдүү сенсор - жарым өткөргүч материалынын пьезоресционисттик фьезорециялык таасиринин субстризатордук субстредициялык материалга каршылык көрсөтүүчү шайман. Анын субстратынын түздөн-түз өлчөө сенсору катары түздөн-түз колдонсо болот, ал эми диффузиялык каршылык субстраттын көпүрөсү түрүндө туташтырылган.

Субраттардын тышкы күчтөрү жөнүндө декларацияланган кезде, каршылык маанилери өзгөрөт жана көпүрө тең салмаксыз продукцияны өндүрөт. Пьезорестивдүү сенсорлор катары колдонулган субстраттар (же диафрагмалар) негизинен кремний вафли жана германдык вафли. Силикон пьезоресистивдүү сенсорлору кремний вафлидерден, айрыкча, катуу заттар, айрыкча, катуу штатка жана ылдамдыкты өлчөө үчүн катуу штатка жана ылдамдыкты өлчөө үчүн катуу материалдар тартуулады.