Экскаватордун басым сенсору эң кеңири колдонулган сенсор, ал индуктивдүү күч энергиясынын ортосундагы газ, суюктук, катуу жана башка заттарды аныктоо үчүн жалпы термин.
Үстүндө аба басымын өлчөөчү манометрлер жана төмөнкү аба басымын өлчөөчү вакуумдук өлчөөчү приборлор. Күч сенсорунун көптөгөн түрлөрү бар, салттуу өлчөө ыкмасы - электр инжектордук кыймылдаткычтын тейлөөсүн билдирүү үчүн ийкемдүү элементтердин деформациясын жана жылышын колдонуу, бирок анын көлөмү чоң, олдоксон жана сызыктуу эмес. Микроэлектроника көндүмдөрүнүн өсүшү менен, жарым өткөргүч материалдарды пьезоререзистивдүү эффект жана жогорку ийкемдүүлүктү колдонуу, жарым өткөргүч күч датчиктерин иштеп чыгуу, маанилүү кремний пьезоресивдүү жана сыйымдуулук эки, алар кичинекей, жеңил салмак, жогорку сезгичтик артыкчылыктарга ээ, жарым өткөргүч күчтө кеңири колдонулат. сенсорлор. Жарым өткөргүч кристаллга жогору карай басым жасалганда, анын каршылыгы өзгөрөт. Өткөргүчтүн каршылыгынын өзгөрүшү менен стресстин ортосундагы байланыш жарым өткөргүчтүн пьезорезисттивдик эффектиси деп аталат, ал эми бул эффекттен жасалган механикалык чоңдук датчиги пьезорезисттивдик күч датчиги деп аталат, анын эки түрү бар, бири жарым өткөргүчтүн тензометрден жасалган сенсору деп аталат. чапталган piezoresistive сенсор деп аталган ийкемдүү элемент. Экинчиси - жарым өткөргүч материалдын субстратында интегралдык микросхема технологиясынан жасалган диффузиялык каршылык, андыктан штамм өлчөгүч жана кремний субстрат диффузиялык пьезорезистивдүү сенсор деп аталган бүтүндөй бир сенсорду түзөт. Бул жогорку сезгичтик, жогорку тактык, кичинекей өлчөмү, жеңил салмагы, жогорку жумушчу жыштыгы, жөнөкөй түзүлүшү, ишенимдүү иш жана узак өмүр өзгөчөлүктөрүнө ээ.