Мотор басымдуу басым сенсору 2CP3-68 1946725 Картер Экскаватор үчүн

Төмөнкү кадамдарды жасоо менен мүнөздөлгөн басым сэндурун даярдоо ыкмасы:

Арткы бетин жана алдыңкы бетине вафли менен камсыз кылуу; Пьезоресистивдүү тилкесин түзүп, вафлидин бетинин алдыңкы бетине жана катуу карай Вафлидин арткы бетин жеп, басымын терең көңдөйдү түзүү;

S2, вафлидин арткы жагында колдоо баракчасын байланыштырат;

S3, вафстин алдыңкы жагында, пьезоресистивдүү тилкелерин туташтырып, пьезоресистивдүү көпүрөлөрдү түзүү үчүн, металл зымдарын өндүрүү;

S4, пассивдүү катмарды сактоого жана пассивдүү катмарды түзүп берүү 2 "Кысымга сенсордун өндүрүшүн өндүрүү ыкмасы 1-доо боюнча, S1 төмөнкү кадамдарды жасайт: S11: S11: Арткы бетиңиз жана алдыңкы бетин жана басымдагы басым менен фильмдин калыңдыгын аныктоо; S12: Ион имплантациясы Вафли, пьезоресистивдүү тилкелеринин алдыңкы бетинде колдонулат, температура диффузиялык процесстин жогорку температура процесси менен өндүрүлөт жана байланыш аймактары өтө эле курулган; S13: Вафлидин бетине коргоочу катмарды жайгаштыруу жана түзүү; S14: Вифтун арткы жагында басымдын арткы жагындагы терең көңдөйүн пайда кылуу жана басым жасоо үчүн. 3

1962-жылы Туфте жана Ал. Силикон пьезоресистивдүү тилкелери жана кремний фильм структурасы менен пьезоресистивдүү басым сэнсору биринчи жолу силикон пьезоресистивдүү тилкелери жана кремний фильм структурасы жана пьезорестивдүү басым басым сенсору жөнүндө изилдөө башталды. 1960-жылдардын аягында жана 1970-жылдардын башында үч технологиянын пайда болушу, атамандык, кремностика Анисотропиялык технологиялар технологиясы, Ион имплантациялык технологиялары жана аноддук байланыш технологиясы, басым сэндурун ишин өркүндөтүүдө маанилүү ролду ойногонго чоң өзгөрүүлөрдү алып келди. 1980-жылдан баштап, анисотропдук техниканы андан ары өнүктүрүүдө, мисалы, анисотропдук техниканын, Ион диффузия, байланыш, байланыш жана каптоо Ошол эле учурда, жаңы микромдук технологияны иштеп чыгуу жана колдонуу