Картер экскаватору үчүн кыймылдаткыч басымы сенсор 2CP3-68 1946725

Төмөнкү этаптарды камтыган басым сенсорун даярдоо ыкмасы:

S1, пластинканы арткы жана алдыңкы бети менен камсыз кылуу; пластинанын алдыңкы бетинде пьезорезистивдүү тилкени жана катуу кошулган контакт аймагын түзүү; пластинанын арткы бетин оюп, басым терең көңдөйүн түзүү;

S2, пластинанын арткы бетине колдоо баракчасын байлоо;

S3, пластинанын алдыңкы тарабындагы коргошун тешиктерин жана металл зымдарды жасап, Уитстоун көпүрөсүн түзүү үчүн пьезорезистивдүү тилкелерди бириктирет;

S4, пластинанын алдыңкы бетине пассивация катмарын салуу жана түзүү жана пассивация катмарынын бир бөлүгүн ачуу үчүн металл аянтчасын түзүү. 2. 1-статьяга ылайык басым датчигин даярдоо ыкмасы, мында S1 өзгөчө төмөнкү баскычтарды камтыйт: S11: пластинаны арткы жана алдыңкы бети менен камсыз кылуу жана пластинкадагы басымга сезгич пленканын калыңдыгын аныктоо; S12: иондук имплантация пластинанын алдыңкы бетинде колдонулат, пьезорезистивдүү тилкелер жогорку температурадагы диффузия процесси менен даярдалат, ал эми контакт аймактары катуу легирленген; S13: пластинанын алдыңкы бетине коргоочу катмарды салуу жана түзүү; S14: басым сезгич пленканы түзүү үчүн пластинанын арткы бетинде басым терең көңдөйүн оюп, түзүү. 3. 1-бапка ылайык басым датчигин даярдоо ыкмасы, мында пластинка SOI болуп саналат.

1962-жылы Туфте жана башкалар. биринчи жолу диффузиялык кремний пьезорезистивдүү тилкелери жана кремний пленкасынын структурасы бар пьезорезистивдүү басым датчигин жасап чыгарды жана пьезорезистивдүү басым датчигин изилдөөнү баштады. 1960-жылдардын аягында жана 1970-жылдардын башында үч технологиянын пайда болушу, атап айтканда, кремнийдин анизотроптук оюу технологиясы, иондук имплантация технологиясы жана аноддук байланыш технологиясы басым сенсоруна чоң өзгөрүүлөрдү алып келди, бул басым сенсорунун иштешин жакшыртууда маанилүү роль ойногон. . 1980-жылдардан бери анизотроптук оюу, литография, диффузиялык допинг, иондук имплантация, байланыш жана каптоо сыяктуу микромашининг технологиясын андан ары өнүктүрүү менен басым сенсорунун көлөмү тынымсыз кыскарып, сезгичтиги жакшырып, өндүрүмдүүлүгү жогору жана аткаруу сонун. Ошол эле учурда, жаңы micromachining технологиясын иштеп чыгуу жана колдонуу басым сенсорунун пленканын калыңдыгын так көзөмөлдөйт.