Passat күйүүчү май жалпы темир жол басым сенсор 06E906051K тиешелүү

1. Төмөнкүлөрдү камтыган басым датчигин түзүү ыкмасы:

Жарым өткөргүч субстратты камсыз кылуу, мында жарым өткөргүч субстратта биринчи катмар аралык диэлектрдик катмар, биринчи катмар аралык диэлектрдик катмар жана экинчи катмар аралык диэлектрдик катмар түзүлөт.

Биринчи катмар аралык диэлектрдик катмардагы төмөнкү электрод плитасы, төмөнкү электрод плитасы менен бир катмарда жайгашкан жана бири-биринен алыс жайгашкан биринчи өз ара электрод.

байланыш катмарлары;

Төмөнкү полярдык плитанын үстүндө курмандык катмарын түзүү;

Биринчи катмар аралык диэлектрик катмарында, биринчи өз ара байланыш катмарында жана курмандык катмарында жогорку электрод плитасын түзүү;

Курмандык катмарын түзгөндөн кийин жана үстүнкү пластинаны түзүүдөн мурун, биринчи өз ара байланыш катмарында

Байланыш оюкчасын түзүү, жана биринчи өз ара байланыш катмары менен электрдик туташтыруу үчүн жогорку пластина менен байланыш оюгу толтуруу;Же,

Үстүнкү электрод плитасын түзгөндөн кийин, жогорку электрод плитасында жана биринчи өз ара байланыш катмарында бириктирүүчү оюктар пайда болот, алар

жогорку электрод пластинкасын жана туташтыруу оюгу биринчи өз ара байланыш катмарын бириктирүүчү өткөргүч катмарын түзүү;

Жогорку плитаны жана биринчи өз ара байланыш катмарын электр менен туташтыргандан кийин, көңдөй пайда кылуу үчүн курмандык катмарын алып салуу.

2. 1-бапка ылайык басым датчигин түзүү ыкмасы, мында биринчи катмарда

Кабат аралык диэлектрдик катмарда курмандык катмарын түзүү ыкмасы төмөнкү этаптарды камтыйт:

Биринчи катмар аралык диэлектрик катмарына курмандык материалдык катмарын салуу;

Курмандык катмарын түзүү үчүн курмандыкка чалынуучу материалдык катмарды калыптандыруу.

3. 2-статьяга ылайык басым датчигин түзүү ыкмасы, мында фотолитография жана гравюра колдонулат.

Курмандыкка чалынуучу материалдын катмары оюу процесси менен жасалат.

4. 3-бапка ылайык басым датчигин түзүү ыкмасы, мында курмандык катмары

Материал аморфтук көмүртек же германий.

5. 4-статьяга ылайык басым датчигин түзүү ыкмасы, мында курмандык катмары

Материал аморфтук көмүртек;

Курмандык материалынын катмарын оюу процессинде колдонулуучу офорттук газдарга O2, CO, N2 жана Ar;

Курмандык материалынын катмарын оюу процессиндеги параметрлер: O2 агымынын диапазону 18 SCCM ~ 22 SCCM, ал эми CO агымынын ылдамдыгы 10%.

Агым ылдамдыгы 90 SCCMден 110 SCCMге чейин, N2 агымынын ылдамдыгы 90 SCCMден 110 SCCMге чейин жана Ar агымынын ылдамдыгы.

диапазону 90 SCCM ~ 110 SCCM, басым диапазону 90 mtor ~ 110 mtor, жана ыксыз кубаттуулугу

540w～660w.